Wachstumsspezies bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher, 
wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten

Schwarz-Selinger, T.; Bauer, M.; Jacob, W.; von Keudell, A.

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Wachstumsspezies bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher, wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten

Schwarz-Selinger, T., Bauer, M., Jacob, W., & von Keudell, A. (2005). Wachstumsspezies bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher, wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten. Talk presented at 12. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen. Mühlleithen. 2005-03-16 - 2005-03-18.

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Genre: Talk

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Creators:
Schwarz-Selinger, T.^{1, 2}, Author
Bauer, M.^{1, 2}, Author
Jacob, W.^{1, 2}, Author
von Keudell, A.³, Author

Affiliations:
1Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288
2Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328
3External Organizations, ou_persistent22

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Language(s): deu - German

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Identifiers: eDoc: 211211

Degree: -

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Title: 12. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen

Place of Event: Mühlleithen

Start-/End Date: 2005-03-16 - 2005-03-18

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