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  Surface Wave Ion Source for Producing Lange Area Coatings (Report)

Azarenkov, N. A., Bizyukov, I. A., Kashaba, A. Y., Sereda, K. N., Tarasov, I. K., & Romashenko, E. V. (2003). Surface Wave Ion Source for Producing Lange Area Coatings (Report). In 10th Anniversary Scientifical Technical Conference on Vacuum Science and Technology (pp. 362-366). Moscow: Moscow National Institute of Electronics and Mathematics.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-3DFA-8 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-3DFB-6
Genre: Konferenzbeitrag

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Azarenkov, N. A., Autor
Bizyukov, I. A.1, Autor           
Kashaba, A. Y., Autor
Sereda, K. N., Autor
Tarasov, I. K., Autor
Romashenko, E. V., Autor
Affiliations:
1Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2003
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Interne Begutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 111861
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: 10th Anniversary Scientifical Technical Conference on Vacuum Science and Technology
Veranstaltungsort: Sudak, Crimea
Start-/Enddatum: 2003 - 2003

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: 10th Anniversary Scientifical Technical Conference on Vacuum Science and Technology
Genre der Quelle: Konferenzband
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Moscow : Moscow National Institute of Electronics and Mathematics
Seiten: - Band / Heft: - Artikelnummer: - Start- / Endseite: 362 - 366 Identifikator: -
 
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