Particle-induced oscillations in inductively coupled plasmas

von Keudell, A.; Bauer, M.

doi:10.1088/0963-0252/13/2/014

Particle-induced oscillations in inductively coupled plasmas

von Keudell, A., & Bauer, M. (2004). Particle-induced oscillations in inductively coupled plasmas. Plasma Sources Science and Technology, 13, 285-292. doi:10.1088/0963-0252/13/2/014.

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資料種別: 学術論文

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von Keudell, A.¹, 著者
Bauer, M.^{2, 3}, 著者

所属:
1External Organizations, ou_persistent22
2Centre for Interdisciplinary Plasma Science (CIPS), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_2074325
3Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288

内容説明

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言語: eng - English

日付: 出版: 2004

出版の状態: 出版

ページ: -

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査読: 査読あり

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 117493
DOI: 10.1088/0963-0252/13/2/014
その他: S0963-0252(04)78560-6

学位: -

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出版物名: Plasma Sources Science and Technology

種別: 学術雑誌

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出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 13 通巻号: - 開始・終了ページ: 285 - 292 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

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